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芯片可靠性测试要求及标准解析

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    [LV.1]初来乍到

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    发表于 2021-7-16 09:56 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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    本帖最后由 mutougeda 于 2021-7-16 09:57 编辑
    & @! U/ ?4 `6 @# u4 v6 s) ?4 |; G/ z% E; j+ n) i
    芯片可靠性测试要求都有哪些?华碧实验室通过本文,将为大家简要解析芯片可靠性测试的要求及标准。
    1 ]+ ~) x$ F& c8 d
    & K* @1 }  n' @: d3 B大多数半导体器件的寿命在正常使用下可超过很多年。但我们不能等到若干年后再研究器件;我们必须增加施加的应力。施加的应力可增强或加快潜在的故障机制,帮助找出根本原因,并帮助 TI 采取措施防止故障模式。# w9 c9 r# z- {# j* `

    , w5 V7 ]& I# x在半导体器件中,常见的一些加速因子为温度、湿度、电压和电流。在大多数情况下,加速测试不改变故障的物理特性,但会改变观察时间。加速条件和正常使用条件之间的变化称为“降额”。
    1 N8 T2 K( d6 ~$ n: G3 i# i/ l  S3 K0 `
    % O+ \; `9 b  ?$ Q: `1 L

    + L/ q! a  J  C4 r# t" ?% R+ J高加速测试是基于 JEDEC 的资质认证测试的关键部分。以下测试反映了基于 JEDEC 规范 JEP47 的高加速条件。如果产品通过这些测试,则表示器件能用于大多数使用情况。0 q7 B7 v* k+ p$ b  D
    ' M8 E6 i) R, W

    : J% z  R2 l! B" E  t
    - P3 c" m+ D" a8 `5 }+ s# w温度循环$ O$ s, @1 ?3 F, h! S% S& P0 \

    9 F* q! p  N5 q: e6 w  e5 ?& W根据 JED22-A104 标准,温度循环 (TC) 让部件经受极端高温和低温之间的转换。进行该测试时,将部件反复暴露于这些条件下经过预定的循环次数。
    ' n( q7 e0 l8 N0 ~) i$ N/ }% v0 H- `& A; C* n4 \( y
    高温工作寿命(HTOL)) L. J& V  s6 ?* F: r0 E! |
    ; h1 d( g' v4 U9 v* D% V
    HTOL 用于确定高温工作条件下的器件可靠性。该测试通常根据 JESD22-A108 标准长时间进行。
    : _7 r! Q- [+ ]$ ~0 O  U$ @( B2 f
    9 y# U* r' Y, c5 T温湿度偏压高加速应力测试(BHAST)
    2 K( [6 ~7 i8 g& |; j% o& x$ ?% R2 v* q, b
    根据 JESD22-A110 标准,THB 和 BHAST 让器件经受高温高湿条件,同时处于偏压之下,其目标是让器件加速腐蚀。THB 和 BHAST 用途相同,但 BHAST 条件和测试过程让可靠性团队的测试速度比 THB 快得多。8 n' g+ X+ {$ q8 {. Y
    % k: o% m9 B4 z- C
    热压器/无偏压HAST
    . V) I/ K1 }  p% S" \! ?) z% ]/ D& Z6 K% c+ X7 m0 k* v- a
    热压器和无偏压 HAST 用于确定高温高湿条件下的器件可靠性。与 THB 和 BHAST 一样,它用于加速腐蚀。不过,与这些测试不同,不会对部件施加偏压。) O0 I* `' c) ~: r( l* R

    ! Y  D4 q$ c- n* Z高温贮存3 t3 Q& t1 [, Z4 u0 `! N
    ; L+ S9 Q$ J  h/ u7 e- {
    HTS(也称为“烘烤”或 HTSL)用于确定器件在高温下的长期可靠性。与 HTOL 不同,器件在测试期间不处于运行条件下。8 t& V) z" ^7 f2 T2 [

    # L8 N7 z" C0 i0 P& w4 l% H! n- A静电放电(ESD)0 G3 D/ n1 W$ @, {
    5 @9 h0 y4 i! I5 r8 U' ~+ b6 O
    静电荷是静置时的非平衡电荷。通常情况下,它是由绝缘体表面相互摩擦或分离产生;一个表面获得电子,而另一个表面失去电子。其结果是称为静电荷的不平衡的电气状况。) y" T1 U7 J: S, Z) d- H

    / d, S0 z# ?  ^1 b4 r, a2 D" {当静电荷从一个表面移到另一个表面时,它便成为静电放电 (ESD),并以微型闪电的形式在两个表面之间移动。
    4 \% k! J! n9 u% b% [6 D4 ^9 y9 K  z/ ]0 w; |( {) D1 l
    当静电荷移动时,就形成了电流,因此可以损害或破坏栅极氧化层、金属层和结。
    0 O9 b' W* Y1 \& \
    0 J8 y  P; K# ~. Y- rJEDEC 通过两种方式测试 ESD:8 n7 o& y# f1 m" E
    2 \6 U# j* U) i. Y5 x
    1.人体放电模型 (HBM): r& d- [. b7 j* W9 ^0 q+ S; _, A; U
    - J8 S. J  W- ~# e8 P0 N" {
    一种组件级应力,用于模拟人体通过器件将累积的静电荷释放到地面的行为。
    2 L" g% ~% K2 a/ D  `, F
    2 F6 [4 f3 Y3 {# g$ G- U
    , E6 x+ s. I' \- N/ t- {2 P- O8 L) _( {% l7 |5 ^
    2.带电器件模型 (CDM)
    / |/ G6 {- v& F% }! R2 Y* b- s7 F  D/ A: ~5 y
    一种组件级应力,根据 JEDEC JESD22-C101 规范,模拟生产设备和过程中的充电和放电事件。4 j! x7 g, a6 a
    8 S- y4 e0 x/ d" M  s
      v; {! a! X' t

    ) y' E6 S; `- K1 S* g" d) \! f4 |3 @8 f( G6 n, i# y4 _  {+ U

    , m# Q1 }, f7 V

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    发表于 2021-7-16 13:30 | 只看该作者
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    发表于 2021-7-16 13:31 | 只看该作者
    芯片可靠性测试要求及标准解析

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    发表于 2021-7-16 13:31 | 只看该作者
    芯片可靠性测试要求及标准解析
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    [LV.10]以坛为家III

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    发表于 2021-7-16 14:18 | 只看该作者
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