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芯片可靠性测试要求及标准解析

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    [LV.1]初来乍到

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    发表于 2021-7-16 09:56 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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    本帖最后由 mutougeda 于 2021-7-16 09:57 编辑   i; A! i8 V; R3 {2 e. f2 _7 T

    0 v4 C2 O7 s4 R芯片可靠性测试要求都有哪些?华碧实验室通过本文,将为大家简要解析芯片可靠性测试的要求及标准。
    / z; E; ~3 o7 A0 l0 \( p3 {- p
    " L( M2 F* O  W3 j, A: a大多数半导体器件的寿命在正常使用下可超过很多年。但我们不能等到若干年后再研究器件;我们必须增加施加的应力。施加的应力可增强或加快潜在的故障机制,帮助找出根本原因,并帮助 TI 采取措施防止故障模式。
    ( m' k7 A- d8 x; D2 Q, V( t' v8 w/ g! ~7 H9 j
    在半导体器件中,常见的一些加速因子为温度、湿度、电压和电流。在大多数情况下,加速测试不改变故障的物理特性,但会改变观察时间。加速条件和正常使用条件之间的变化称为“降额”。
    ) S. U+ E4 D4 h1 T$ s5 f- B
    " Z5 z% g- f0 `! d
    ) v- j) s5 T% y. h$ ]/ P$ M& w; }4 D) m; M
    高加速测试是基于 JEDEC 的资质认证测试的关键部分。以下测试反映了基于 JEDEC 规范 JEP47 的高加速条件。如果产品通过这些测试,则表示器件能用于大多数使用情况。4 k; i* @- a- P$ E

    7 E3 l% B6 z6 K4 h* @- D) s4 T + G9 j% f: h- e7 E% u

    % y1 f& ^. H& |  v- t  k温度循环
    ' k( g$ w1 E8 {, P3 U
    9 C4 \' a0 o' o1 o# C根据 JED22-A104 标准,温度循环 (TC) 让部件经受极端高温和低温之间的转换。进行该测试时,将部件反复暴露于这些条件下经过预定的循环次数。
    2 Q! J5 I1 E# B; G6 T0 ~3 m* S8 ?4 L& f6 z. F" `/ {) [4 U0 G
    高温工作寿命(HTOL)' F4 Q( G8 b7 R2 s
    , ?% P- `, K! M& d) j. g$ @
    HTOL 用于确定高温工作条件下的器件可靠性。该测试通常根据 JESD22-A108 标准长时间进行。
    / W3 T% ^4 J- x2 P( l
    / M, L& ]* F- `温湿度偏压高加速应力测试(BHAST)8 l: h+ g1 m1 Y' B: P; k# x  \

    + g* h0 @0 {0 Q' W根据 JESD22-A110 标准,THB 和 BHAST 让器件经受高温高湿条件,同时处于偏压之下,其目标是让器件加速腐蚀。THB 和 BHAST 用途相同,但 BHAST 条件和测试过程让可靠性团队的测试速度比 THB 快得多。
    9 V- u6 ^% m5 M" {. e  R2 e+ E2 t! n! P4 }/ _9 s, f4 e! s) ^0 ?4 s
    热压器/无偏压HAST
      w  G- v& K% F' l9 [! ~  c! d% X) X0 J4 O& S; c
    热压器和无偏压 HAST 用于确定高温高湿条件下的器件可靠性。与 THB 和 BHAST 一样,它用于加速腐蚀。不过,与这些测试不同,不会对部件施加偏压。
    9 l$ s3 n" d; y
    $ F9 P6 \. w3 Z2 W# y* Z; ^; v. D1 j高温贮存/ k+ R7 p9 E0 f" a# `& Y
    " q% u7 V3 V3 s& F) U
    HTS(也称为“烘烤”或 HTSL)用于确定器件在高温下的长期可靠性。与 HTOL 不同,器件在测试期间不处于运行条件下。, O! l, N- a7 \$ u. W% d8 B, L

    ; W% ^. G& \0 D+ P& I% [静电放电(ESD)
    , f; m5 P7 k4 g1 L6 T' D/ a. ^3 v/ |" u" a- X! Q
    静电荷是静置时的非平衡电荷。通常情况下,它是由绝缘体表面相互摩擦或分离产生;一个表面获得电子,而另一个表面失去电子。其结果是称为静电荷的不平衡的电气状况。
    " X% _& S" k8 q4 ?
    # |4 U' h: ]( l) Z当静电荷从一个表面移到另一个表面时,它便成为静电放电 (ESD),并以微型闪电的形式在两个表面之间移动。
    , o4 d. x, V1 K8 Y! \& a+ p: w2 V4 v, r& ~4 F
    当静电荷移动时,就形成了电流,因此可以损害或破坏栅极氧化层、金属层和结。* Z2 \# V( N. K1 W* v. Y
      N+ e! T% V' S( @
    JEDEC 通过两种方式测试 ESD:% P  H$ V2 Y/ S3 Q% B% N. z

    ' N3 c/ w. P# c9 B- p3 _2 x, X1.人体放电模型 (HBM)' ]3 l+ A6 [1 ]$ {. i0 I

    & c: M# c2 p: |; N$ @% ]一种组件级应力,用于模拟人体通过器件将累积的静电荷释放到地面的行为。
    2 Q5 }/ s! [/ P# q
    ! G+ `* p* I# F2 x 5 l, l" e5 k) z- D9 s+ `2 d

    " ?: k8 P# b; d' L1 F2.带电器件模型 (CDM)
    4 D" J( [- \! y. f: ?
    6 I1 P$ H! P% Z& x* F* B一种组件级应力,根据 JEDEC JESD22-C101 规范,模拟生产设备和过程中的充电和放电事件。/ j3 T4 I( D$ X+ H* `' b$ }
    % t" \( t" @6 M6 E4 o6 j
    0 y6 T. o" j6 k" j9 J( N4 D

    2 t5 L% S8 x) r. {
    , D) V' I' X; A0 ^% N
    0 H$ u, W  O9 j2 V( ^( c

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    发表于 2021-7-16 13:30 | 只看该作者
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