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器件一旦坏了,千万不要敬而远之,而应该如获至宝。8 h9 M# C; Z% l m0 q* w; @" N: M
开车的人都知道,哪里最能练出驾驶水平?高速公路不行,只有闹市和不良路况才能提高水平。社会的发展就是一个发现问题解决问题的过程,出现问题不可怕,但频繁出现同一类问题是非常可怕的。3 U( A- }/ @, ~) j" L: y$ Z
/ H' c/ i& {6 L( S# ~失效分析基本概念
8 L6 X: J1 r8 ~" `3 b定义:对失效电子元器件进行诊断过程。
# ]0 h+ C7 H0 _" B6 F# L1、进行失效分析往往需要进行电测量并采用先进的物理、冶金及化学的分析手段。
: ~3 `# E& `4 w+ n0 D; g1 a. n2、失效分析的目的是确定失效模式和失效机理,提出纠正措施,防止这种失效模式和失效机理的重复出现。' ^8 H5 k- a, ~! a( B
3、失效模式是指观察到的失效现象、失效形式,如开路、短路、参数漂移、功能失效等。1 _/ X4 \$ ?- Q* ^7 J
4、失效机理是指失效的物理化学过程,如疲劳、腐蚀和过应力等。: g* L- |3 [/ X, ~
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失效分析的一般程序
# t7 m; W* {2 Z; y- R1 A/ g1、收集现场场数据% g8 N' v$ F* V7 ]
2、电测并确定失效模式( d8 {& S& _# L# i: u& ^
3、非破坏检查+ [4 g! `3 U0 S, J( ]) @% g! |
4、打开封装4 u- U/ F# e$ g. _
5、镜验+ {& ?- v7 L2 n7 o3 N; E; c
6、通电并进行失效定位
& _; Q& D- j& B( _7、对失效部位进行物理、化学分析,确定失效机理。 V3 U" b1 o0 E) i L" _- l
8、综合分析,确定失效原因,提出纠正措施。
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" w! d- k. e5 i+ x/ b. z5 M1、收集现场数据:, v+ `( x1 y% ^( F
& e; `- R O2 z$ x( q/ ~! k
2、电测并确定失效模式
) k" c: _: ]* E" ]1 ^8 v1 ~+ d电测失效可分为连接性失效、电参数失效和功能失效。
, ?+ W; E4 `% a& m/ \4 w& v9 {连接性失效包括开路、短路以及电阻值变化。这类失效容易测试,现场失效多数由静电放电(ESD)和过电应力(EOS)引起。
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/ l( C- k. C/ ~) ]2 L( F! y8 O电参数失效,需进行较复杂的测量,主要表现形式有参数值超出规定范围(超差)和参数不稳定。/ X1 Z7 b8 D. N2 M
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确认功能失效,需对元器件输入一个已知的激励信号,测量输出结果。如测得输出状态与预计状态相同,则元器件功能正常,否则为失效,功能测试主要用于集成电路。% `/ {. \1 k$ J, I
* H* t3 d" k: T- D7 _9 g& u) I三种失效有一定的相关性,即一种失效可能引起其它种类的失效。功能失效和电参数失效的根源时常可归结于连接性失效。在缺乏复杂功能测试设备和测试程序的情况下,有可能用简单的连接性测试和参数测试方法进行电测,结合物理失效分析技术的应用仍然可获得令人满意的失效分析结果。
7 h3 k* Q1 i: {: Z! P3、非破坏检查' j8 X Z! l" u" H5 V4 y
X-Ray检测,即为在不破坏芯片情况下,利用X射线透视元器件(多方向及角度可选),检测元器件的封装情况,如气泡、邦定线异常,晶粒尺寸,支架方向等。% |# N( {2 v% _
, D) i5 p( }8 U; F2 R
适用情境:检查邦定有无异常、封装有无缺陷、确认晶粒尺寸及layout
6 m4 n$ `+ o& j# \; }: G- n( R5 U优势:工期短,直观易分析
! ^0 | b+ C+ X3 D" K: s+ P( k劣势:获得信息有限 A& n: x$ T/ C! w* z" u2 i
局限性:
" F; Q' x* s9 ^5 S: F) Q1、相同批次的器件,不同封装生产线的器件内部形状略微不同;
8 l* c% N7 v) x2 E- {2、内部线路损伤或缺陷很难检查出来,必须通过功能测试及其他试验获得。" O/ h: g' m3 [4 n7 L; S
# P' w( D: r1 O& s) }1 w/ V; j7 }5 c
案例分析:; E7 ]- W5 C9 q2 I3 u% [6 g. r
X-Ray 探伤----气泡、邦定线" E& N9 @3 ?* s5 r+ ~" h" F5 X. K$ Y
X-Ray 真伪鉴别----空包弹(图中可见,未有晶粒)
- c& \6 V7 i( v( d% J3 k( X“徒有其表”: r1 \2 l* E, w, U I" \' k0 y
下面这个才是货真价实的
: Z# p* l4 f+ m5 C* ]& P# {+ IX-Ray用于产地分析(下图中同品牌同型号的芯片)
4 P, L* B& j! Z1 O1 W0 M, `+ _) @! aX-Ray 用于失效分析(PCB探伤、分析), n& K9 X0 W6 a" z% B
(下面这个密密麻麻的圆点就是BGA的锡珠。下图我们可以看出,这个芯片实际上是BGA二次封装的)
k4 O; l/ L! y" }% ]* @' j8 a; ]' b2 i0 a Z# K+ i
4、打开封装
0 V. S; z9 G% L/ v开封方法有机械方法和化学方法两种,按封装材料来分类,微电子器件的封装种类包括玻璃封装(二极管)、金属壳封装、陶瓷封装、塑料封装等。& a) r5 `; }$ ]( L0 O
- w% J( ?4 R8 ?8 T
5、显微形貌像技术
0 c. b/ r. G3 D) ?3 R' H5 R光学显微镜分析技术8 a$ r) F' v& t% B- b" j
扫描电子显微镜的二次电子像技术
0 \6 I5 @) C# p* R+ h6 [电压效应的失效定位技术5 W0 _# v% {2 C# |
6、半导体主要失效机理分析
$ Y+ F; ~. r! y5 A$ j' j电应力(EOD)损伤
8 g3 J# a, v* r( F- y1 Q. M静电放电(ESD)损伤0 b3 a5 A# v% v2 b% M2 n$ i2 }. K
封装失效, S1 v9 d& G: `$ V x
引线键合失效
6 ~6 b; H# f9 M- W芯片粘接不良
) b' a5 C0 M9 {, `$ w: X" h' c金属半导体接触退化
( w" z* V9 l) u) Z+ {* l钠离子沾污失效
" K6 L3 \ U6 o; u% k$ I6 h氧化层针孔失效 |
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