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空间光调制器是采用LCOS(Liquid Crystal On Silicon, 硅基液晶)芯片来调节光波前的振幅或相位的光学器件。LCOS芯片是由液晶像元组成的像素阵列,每个像素都能单独地调制光。对于同一束光来说,像元的尺寸越小,调制得就越精细;像素的个数就是芯片的分辨率,分辨率越高,可调制的自由度就越高。; ?7 y% `) x$ }! C" g: S; e
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EDA365欢迎您登录!您需要 登录 才可以下载或查看,没有帐号?注册  在光通信、显微和望远等成像系统、自适应光学、光镊等许多应用领域中,都会涉及到光相位的调制,这时就需要用到这种新型的可编程光学仪器。
 8 v) Y1 l' f) D1 c" p# T对于中科微星的空间光调制器LCOS本身的性质来说,它只改变光的相位,而不影响光的强度和偏振状态(振幅/光强的调制需要通过光路来实现)。通过改变电压来改变液晶的排列方式,相位调制随着液晶的排列方式而变化。通过CMOS背板和PC输出的DVI信号,液晶的排列是单像素可控的。
 + `  G2 n) Q! E2 a# @) ~8 ^从早期的铁电物质和扭曲向列液晶结构开始,到利用光电寻址。滨松的中央研究所和固体事业部致力于空间光调制技术已有30多年的历史了。其空间光调制器目前主要在高端市场中,以高线性度、高光利用率、高衍射效率等性能著称。
 ' u+ h, A% `+ t/ ~/ \& _( E空间光调制器涉及的应用比较多,那么要如何根据自己的研究需求来选择合适的空间光调制器呢?4 s  X5 z6 ^% }# x* D- Z- I4 @
 为了帮助各位广大需求用户,这里,中科微星和大家聊一聊,关于空间光调制器选择的哪些方法:$ N/ Y, o0 ~# e9 d4 t9 W) E
 1. 选择对应的波段; D4 o' j$ f: B( K+ Z
 一般空间光调制器的LCOS产品都包含九个不同的型号,以-01~-09在型号的末尾表示。如X10468-07中的-07就是指该型号的产品可调制波长范围为620nm-1100nm* A2 Q7 r) M* l8 C  ^3 O
 * 虚线范围所指含义:对于-05型号来说,波长小于400nm的紫外光会对LCOS造成损伤,更多细节请向我们咨询。对于-08型号,波长1350nm-1400nm这一段由于玻璃基片的吸收会导致反射率(光利用率)下降约5%。. F. X8 d0 P4 I: B* ?  D
 2. 选择像元大小和分辨率
 4 [; E3 x* ^) W: D: A  ^7 q! ELCOS是由像素阵列组成的,一般提供两种分辨率:792×600, 1272×1024;对于792×600分辨率的产品,还有两种像元大小可供选择:20μm,12.5μm。
 & h9 X4 J5 g2 ~! [: L+ x9 B需要特别注意的是,不是所有品牌的产品所标示的"填充因子(Fill factor)"都是一个概念!一些品牌的填充因子(Fill factor)占比并没有考虑像素间间距(Inter pixel gap),所以通常此项的百分比很高,参数显得很"漂亮"(其填充因子占比计算方法见下图)。但用户不了解的是,其实其Inter pixel gap却很大,有的甚至高达1.3μm。
 3 u# y7 s$ q  X' ?) Z. n0 }# W6 T. a3. 注意光阈值是否合适
 e% m6 b  X  W5 R9 X9 KLCOS是不能照射超过阈值的光的,如果超过阈值光强,则会发生损伤,轻则线性度下降,重则液晶层融化。9 U2 V8 |3 I# R" R6 t5 H' l. {6 {( p
 中科微星LCOS的光阈值在同类产品中属于较高的水平,具体值由于型号、波长、用户使用的光源类型不同会有很大差异,选型时,一定要参考样本中产品可承受最大光强阈值表。
 / T' b7 ?( H( x" E另外,从波长选型中可以看到,-01到-09这九种型号中,-01,-07,-08这三种型号的波长范围较长;
 Z2 H9 C1 x! n0 E2 }而-02,-03,-04,-05,-06,-09这几种型号的波长范围较短,这是因为它们在液晶的底层加了介质镜(Dielectric mirror),大大提高了光阈值和光利用率,但也将波长范围限制在一个比较小的范围内。用户需要根据应用的需求进行选择。
 , j1 F4 ?/ J  Q6 W4. 读懂参数,选型不难: [+ n; ?% S  O* K9 x# ~4 w
 在空间光调制器的参数表中,包含着几个重要的性能参数,需要用户特别地关注:% `6 z: @: c4 d/ X0 T- i# K7 A, a0 o
 光利用率(反射率)、一级衍射效率、线性度、稳定性$ }6 x- ^* h( R" y5 ^. J- o
 光利用率(反射率)
 2 [. h! B! E4 R. ]4 X为了提高光的利用率,在调制的过程中将光能的损失降到最低。这里光利用率
 - _* R7 q. ~4 O, [5 u就定义为光经过LCOS液晶面反射的反射率,即平均反射光强占入射光强的百分比。
 6 F- g& T4 B: M, P8 J, A; r. e2 b2 L) H5.稳定性  ^9 `% p" B8 U8 h& t
 在光调制的精度方面还有一个重要参数,是相位的稳定性。因为LCOS是通过交流电来驱动的,所以输出光会随着驱动频率而浮动,下图所示的是-04型号的相位浮动范围。其中X10468和X13267系列的驱动频率是240Hz(SVGA),稳定性在±0.01π以内;而X13138系列的驱动频率是120Hz(SXGA),虽然比SVGA驱动的两个系列稍差一些,但也能维持在±0.03π以内。, r. z5 k9 e/ E
 除了参数意义上的"线性度"外,这里再扩展一下,聊一聊空间光调制器"链接"的稳定性。
 ' y% j% }: w# v( k5 O! a对于空间光调制器这类产品,欧盟国家有着这样的规定,如是非欧盟国产品想进入其市场,就需要通过严格的CE认证。这就要求产品的接线和连接器都非常结实,不受噪声干扰。虽然这让滨松LCOS的体积会相对较大,但也保证了它的质量和耐用性要超过其他未经CE认证的产品。) H" m* K. n$ E' R; p' T* A. S
 * 部分产品为欧盟国的品牌,则不需CE认证便可直接在其领域内销售。" c' Z, z7 N( l$ x. ~
 有些用户可能会提到排线的连接方式,这样虽然减小了体积,但不耐使用,且损坏率较高。其实在使用LCOS时,只需要把LCOS头放在光学平台上,把控制箱另置在操作台的架子上,就可以解决其占地过大的问题了。
 2 y+ b! B: n% l5 m- i- J) r( d6. 线性度7 h! s& j" r0 \& p- Y( [2 {
 相位调制的线性度在光调制的精度方面是一个至关重要的参数。滨松空间光调制器追求等高精度的调制,所以在线性度方面有着公认的满意表现。
 : {. |. q% d7 _- O对于一些单纯追求相位调制范围或分辨率的产品,线性度容易被忽略,这样就在调制精度方面存在问题。这在下图中能看出:
 ) T+ F( K4 E: g4 s7 h我们可以看到,该品牌产品在0-2π区间范围内线性度较差,而大部分应用主要使用的都是0-2π这个范围内。因为从波动光学的角度来说,像差2π的整数倍的两个相位的光,是可以进行等效的。) K% b2 A, Y1 I( S: E8 o& }" U
 7. 关注一级衍射效率
 ; n0 D- h" a+ ]9 @' ?7 i! D9 e这里的"一级衍射效率"其实才是LCOS真正的"衍射效率",是通过加载闪耀光栅时(将LCOS作为光栅使用)一级衍射光的能量占零级衍射光能量的百分比来定义的。加载闪耀光栅时,光斑级次如下图所示:! D% i. O! h/ D3 Y. R7 j' |8 s: |
 (a)未加载光栅。
 |& S2 o" q8 |# [(b)加载2-level光栅,空间分辨率为25线对/mm,图中为±1级光及0级光。9 D* ]! X4 I/ i9 ?3 X
 (c)加载4-level光栅,相当于12.5线对/mm的空间分辨率。$ {' |  H2 }( K% ^4 Z. T
 而搭建一个简单的光路,用户便可自行使用光功率计实现衍射效率进行检测:! }- Z8 y+ _  l" b
 光栅level/steps越高,空间分辨率就越低,但是衍射效率越高。光栅level/steps和空间分辨率lp/mm之间呈现出这样的对应关系:# w; ~' C& n) a3 C. ]" S; @1 r
 另外需要特别注意的是,实验室静电有可能造成衍射效率的下降,这里也提醒用户朋友们在使用空间光调制器时,请注意防护。
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