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空间光调制器是采用LCOS(Liquid Crystal On Silicon, 硅基液晶)芯片来调节光波前的振幅或相位的光学器件。LCOS芯片是由液晶像元组成的像素阵列,每个像素都能单独地调制光。对于同一束光来说,像元的尺寸越小,调制得就越精细;像素的个数就是芯片的分辨率,分辨率越高,可调制的自由度就越高。0 |: Q; l* [/ p/ l
在光通信、显微和望远等成像系统、自适应光学、光镊等许多应用领域中,都会涉及到光相位的调制,这时就需要用到这种新型的可编程光学仪器。
) O2 R! q3 }! U" v$ h. Q* B5 @对于中科微星的空间光调制器LCOS本身的性质来说,它只改变光的相位,而不影响光的强度和偏振状态(振幅/光强的调制需要通过光路来实现)。通过改变电压来改变液晶的排列方式,相位调制随着液晶的排列方式而变化。通过CMOS背板和PC输出的DVI信号,液晶的排列是单像素可控的。1 l2 t$ T' j% ^; W2 O
从早期的铁电物质和扭曲向列液晶结构开始,到利用光电寻址。滨松的中央研究所和固体事业部致力于空间光调制技术已有30多年的历史了。其空间光调制器目前主要在高端市场中,以高线性度、高光利用率、高衍射效率等性能著称。9 j3 H$ |$ t5 S; z: p* S
空间光调制器涉及的应用比较多,那么要如何根据自己的研究需求来选择合适的空间光调制器呢?
$ {2 F0 h k3 P( }# i# x为了帮助各位广大需求用户,这里,中科微星和大家聊一聊,关于空间光调制器选择的哪些方法:1 _& C5 z+ W f" D
1. 选择对应的波段% a$ |8 ~/ L: x3 `5 [
一般空间光调制器的LCOS产品都包含九个不同的型号,以-01~-09在型号的末尾表示。如X10468-07中的-07就是指该型号的产品可调制波长范围为620nm-1100nm5 ]5 [0 j! z% |$ @$ U( M! {* `' H2 ^% O
* 虚线范围所指含义:对于-05型号来说,波长小于400nm的紫外光会对LCOS造成损伤,更多细节请向我们咨询。对于-08型号,波长1350nm-1400nm这一段由于玻璃基片的吸收会导致反射率(光利用率)下降约5%。7 a- g Q @3 V8 }
2. 选择像元大小和分辨率
* N- `% r& P; x1 v( |LCOS是由像素阵列组成的,一般提供两种分辨率:792×600, 1272×1024;对于792×600分辨率的产品,还有两种像元大小可供选择:20μm,12.5μm。
' J4 ~: D% h- A/ V需要特别注意的是,不是所有品牌的产品所标示的"填充因子(Fill factor)"都是一个概念!一些品牌的填充因子(Fill factor)占比并没有考虑像素间间距(Inter pixel gap),所以通常此项的百分比很高,参数显得很"漂亮"(其填充因子占比计算方法见下图)。但用户不了解的是,其实其Inter pixel gap却很大,有的甚至高达1.3μm。
& p1 u; e6 p4 n( a) I, e. ]7 Z3. 注意光阈值是否合适' p( _' s! t/ C
LCOS是不能照射超过阈值的光的,如果超过阈值光强,则会发生损伤,轻则线性度下降,重则液晶层融化。
& a) |) A y1 r+ I% y$ K中科微星LCOS的光阈值在同类产品中属于较高的水平,具体值由于型号、波长、用户使用的光源类型不同会有很大差异,选型时,一定要参考样本中产品可承受最大光强阈值表。: k( \5 I% H( l% S: z) Y% Q( e6 z
另外,从波长选型中可以看到,-01到-09这九种型号中,-01,-07,-08这三种型号的波长范围较长;5 q1 `# }+ |1 F: `: {" N! |4 g
而-02,-03,-04,-05,-06,-09这几种型号的波长范围较短,这是因为它们在液晶的底层加了介质镜(Dielectric mirror),大大提高了光阈值和光利用率,但也将波长范围限制在一个比较小的范围内。用户需要根据应用的需求进行选择。. b( L3 o7 ?; ~# R
4. 读懂参数,选型不难
7 {/ b% n# t" Z. s7 H9 F/ Z在空间光调制器的参数表中,包含着几个重要的性能参数,需要用户特别地关注:
4 O D! q; r: E6 P光利用率(反射率)、一级衍射效率、线性度、稳定性) M) c7 ^( C! c4 H0 R$ m1 @3 G6 Y4 T" ~+ J
光利用率(反射率)
& P2 I( g, B P7 B为了提高光的利用率,在调制的过程中将光能的损失降到最低。这里光利用率' J9 M- O2 l: |
就定义为光经过LCOS液晶面反射的反射率,即平均反射光强占入射光强的百分比。) k" \$ H: D3 Z8 a6 o1 N
5.稳定性/ b& g% t% S4 N- F
在光调制的精度方面还有一个重要参数,是相位的稳定性。因为LCOS是通过交流电来驱动的,所以输出光会随着驱动频率而浮动,下图所示的是-04型号的相位浮动范围。其中X10468和X13267系列的驱动频率是240Hz(SVGA),稳定性在±0.01π以内;而X13138系列的驱动频率是120Hz(SXGA),虽然比SVGA驱动的两个系列稍差一些,但也能维持在±0.03π以内。
! y9 }% U3 y) `除了参数意义上的"线性度"外,这里再扩展一下,聊一聊空间光调制器"链接"的稳定性。) l8 G7 p& w& }6 `' \' U
对于空间光调制器这类产品,欧盟国家有着这样的规定,如是非欧盟国产品想进入其市场,就需要通过严格的CE认证。这就要求产品的接线和连接器都非常结实,不受噪声干扰。虽然这让滨松LCOS的体积会相对较大,但也保证了它的质量和耐用性要超过其他未经CE认证的产品。5 S; G7 S$ {$ ?$ u1 K {: w
* 部分产品为欧盟国的品牌,则不需CE认证便可直接在其领域内销售。9 Z% ?4 ]8 ?4 `$ d
有些用户可能会提到排线的连接方式,这样虽然减小了体积,但不耐使用,且损坏率较高。其实在使用LCOS时,只需要把LCOS头放在光学平台上,把控制箱另置在操作台的架子上,就可以解决其占地过大的问题了。" r/ ?& G# b' n& b/ n0 E0 l
6. 线性度
5 \4 w4 {' E! o T5 t* J" L% u相位调制的线性度在光调制的精度方面是一个至关重要的参数。滨松空间光调制器追求等高精度的调制,所以在线性度方面有着公认的满意表现。
- @4 Y& |( n% n% Y3 M+ B- b2 \, n对于一些单纯追求相位调制范围或分辨率的产品,线性度容易被忽略,这样就在调制精度方面存在问题。这在下图中能看出:5 f/ E/ ?/ w3 X# C2 ~
我们可以看到,该品牌产品在0-2π区间范围内线性度较差,而大部分应用主要使用的都是0-2π这个范围内。因为从波动光学的角度来说,像差2π的整数倍的两个相位的光,是可以进行等效的。8 J9 c9 W! C& a7 b! U9 c3 F
7. 关注一级衍射效率! Z* X8 {9 |: Z) ?
这里的"一级衍射效率"其实才是LCOS真正的"衍射效率",是通过加载闪耀光栅时(将LCOS作为光栅使用)一级衍射光的能量占零级衍射光能量的百分比来定义的。加载闪耀光栅时,光斑级次如下图所示:
; e9 n1 u$ H" q& s. y) w(a)未加载光栅。; [* |6 l4 X$ i$ }/ r6 N, @; R
(b)加载2-level光栅,空间分辨率为25线对/mm,图中为±1级光及0级光。# F3 B3 r" E) a
(c)加载4-level光栅,相当于12.5线对/mm的空间分辨率。, q8 U; p# S( ?4 i# j
而搭建一个简单的光路,用户便可自行使用光功率计实现衍射效率进行检测:0 ?% d: t; _+ M0 B! ^" f
光栅level/steps越高,空间分辨率就越低,但是衍射效率越高。光栅level/steps和空间分辨率lp/mm之间呈现出这样的对应关系:
: S$ t' ~/ i l$ N& @. m另外需要特别注意的是,实验室静电有可能造成衍射效率的下降,这里也提醒用户朋友们在使用空间光调制器时,请注意防护。" Z# r& c6 H, Q( B' `
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