DRC中有关density的问题请教大神。

momone

DRC中有关density的问题请教大神。

3 {* |4 r; N) _- o9 R1.metal density比规定的上限值大了2-3%。这部分metal不走信号线，主要是走power线。请问这个问题需不需要非修不可。虽说这个影响的是yield,但会不会有一些潜在问题？
1 G& `( T, h9 K$ M) n
2.还有一类问题是两个区域之间的density之差不满足要求，这个会有什么影响？是不是非得修？

6 D9 n8 i8 S+ f) b! z非常感谢！

helendcany

density属于DFM的问题，在 小节点（ < 90nm ）和mass production的时候尤其重要，
9 `; u; n4 i& q' z2 B, }
; ~, `( J" v( A! G一般来说赶MPW tapeout，如果density violation，  来不及就算了，

量产版最好改掉， 如果说密度过大，就是要打slot，留点空隙，
4 M( v- F5 Y0 K
如果是密度过小，就是要加dummy

但是corner 处的tsmc的是不需要完全加dummy的，  corner只有一部分需要加，最外面的
角上是不需要加的， 选 dm_on_corner  false吧， tsmc dummy runset里面有控制的。