在看design rule时，经常遇到OPC，这个OPC到底是指什么啊，如何理解？

IRESSEMT

在看design rule时，经常遇到OPC，这个OPC到底是指什么啊，如何理解？
例如在SR_DPO layout Rules中，SR_DPO is used for dummy poly ,and it is a tape-out repuired layer and will be OPC treatment. 我已经查看了一些资料，还是不能很好的理解OPC。
请教大神，非常感谢！

helendcany

OPC : optical proximity correction 光学临近矫正，  和PSM 配合使用的就是对tapeout的pattern做一些光学矫正，让更加DFM 话，成品率更高，在.18um以下是必须的。
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, d: b; Z6 W- e( K' e# M

helendcany

SR_DPO 就是smaller type dummy poly， 和DPO（标准dummy poly）配合使用，要做些opc处理，  都是工艺上的事情， 也不用多管。