新型开放式液滴驱动芯片

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摘要:研制出一种利用介质上电润湿(E lectrowetting-on-dielectri，EW O D)机理的新型开放式离散液滴驱动器，它采用重掺杂多晶硅制备微电极阵列,氧化硅以及碳氟聚合物薄膜作为复合疏水介质层,悬挂的细硅铝丝作为参考零电极。通过控制施加在微电极阵列上的脉冲电压时序，来精确操作和控制疏水介质层表面液滴的运动。该器件采用了悬挂线开放式结构，在空气环境下，在40 V低驱动脉冲电压下成功实现了液滴的传输。
关键词:微全分析系统;微流控;介质上电润湿;开放式结构
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