ERS electronic推出采用光子解键合技术的全自动设备

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ERS electronic宣布推出两款新型全自动Luminex系列设备：LUM300A1和LUM300A2，专为处理300毫米基板设计，采用光子解键合技术，提供高灵活性、生产能力和成本效益。这些设备在无应力解键合方面表现突出，并可节省超过30%运营成本，具备强大的晶圆、薄晶圆处理能力，每小时产出量至少为45个晶圆，并可与多种键合材料兼容。LUM300A1为解键合工艺提供量产型解决方案，LUM300A2还另外配有晶圆清洗模块。（美通社）

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