扫描电子显微镜SEM应用

半导体实验室

扫描电子显微镜SEM应用范围：
1、材料表面形貌分析，微区形貌观察
  |5 \7 W/ y' R5 ~5 @1 Z& i2、各种材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析
- L  z# G$ y. ]3、各种薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析
扫描电子显微镜样品制备比透射电镜样品制备简单，不需要包埋和切片。
样品要求：
样品必须是固体；满足无毒，无放射性，无污染，无磁，无水，成分稳定要求。
制备原则：
6 a) f) l# ?% ~2 E6 H+ ^' a* b表面受到污染的试样，要在不破坏试样表面结构的前提下进行适当清洗，然后烘干；
新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，以免破坏断口或表面的结构状态；
, h9 Y4 [# U" m& o: \, T7 I% b: U" Y要侵蚀的试样表面或断口应清洗干净并烘干；
磁性样品预先去磁；
. t+ H. d* P) z  B$ C1 L, e试样大小要适合仪器专用样品座尺寸。
0 Y8 i, h0 t- P6 h3 h# j常用方法：
块状样品
块状导电材料：无需制样，用导电胶把试样粘结在样品座上，直接观察。
3 v. @& d; _5 A) X块状非导电（或导电性能差）材料：先使用镀膜法处理样品，以避免电荷累积，影响图像质量。

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