扫描电子显微镜SEM应用

半导体实验室

扫描电子显微镜SEM应用范围：
+ p$ S, G! @5 i; s3 M. q2 G1、材料表面形貌分析，微区形貌观察
/ }/ l" e. ~# f4 r* c2、各种材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析
! R& D9 k+ |. [6 o3、各种薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析
) O! K7 P3 ^- t1 s1 j$ a1 E扫描电子显微镜样品制备比透射电镜样品制备简单，不需要包埋和切片。
样品要求：
; Q) T% H) d6 n样品必须是固体；满足无毒，无放射性，无污染，无磁，无水，成分稳定要求。
制备原则：
表面受到污染的试样，要在不破坏试样表面结构的前提下进行适当清洗，然后烘干；
) m' e- L4 S3 n9 B$ G新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，以免破坏断口或表面的结构状态；
要侵蚀的试样表面或断口应清洗干净并烘干；
磁性样品预先去磁；
试样大小要适合仪器专用样品座尺寸。
6 P/ M) }1 z! S; A- a/ y$ p$ K常用方法：
: t0 r$ \+ r6 q/ N块状样品
块状导电材料：无需制样，用导电胶把试样粘结在样品座上，直接观察。
- G, ?, O) d1 E* W块状非导电（或导电性能差）材料：先使用镀膜法处理样品，以避免电荷累积，影响图像质量。

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