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共聚焦显微镜主要采用3D捕获的成像技术,它通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像,具有很强的纵向深度的分辨能力。
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共聚焦显微镜成像原理, U& Q: Q2 E% `1 ]- G
共焦显微镜装置是在被测对象焦平面的共轭面上放置两个小孔,其中一个放在光源前面,另一个放在探测器前面,如图所示。
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& x0 r& a* S' H u* B: G8 b共焦显微镜光路示意图 9 T) N0 Y7 ^" w* f. M
得到的图像是来自一个焦平面的光通过针孔数码相机聚焦拍摄,通过所累积的不同焦平面的图像序列,使用软件编译完整的 3d 图像。 _. k0 S1 i( \3 Z$ N
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共焦显微镜系统所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。传统光学显微镜上常配备灵敏度较低的CCD相机来采集图像,对于低照度的光,如荧光无法探测到,而共聚焦显微镜系统使用的探测元件是高灵敏度的光电倍增管,对微弱的荧光信号可以呈现出很高的灵敏度,并且还可以通过缩小激发范围并使用光学切片来消除背景噪声。$ D: x9 p# f @5 K4 N" h6 L3 u
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1 q/ W: T' g8 T" c! q4 ]' Z8 E* Y在相同物镜放大的条件下,共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。如同为微纳检测的利器,共聚焦显微镜却是与白光干涉仪有着诸多不同,如果用一个字眼来形容,那么白光干涉仪是“文”,而共聚焦显微镜是“武”。白光擅长亚纳米级超光滑表面的检测,追求检测数值的精准;而共聚焦擅长微纳级粗糙轮廓的检测,虽在检测分辨率上略逊一筹,但能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。" g! y1 x$ [ S: r l& W; t. V
0 i% s P) Z9 Z! y% g! aVT6000系列共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等,能测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数,对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
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; U0 G3 c1 }0 C x* _自设计之初,便定下了“简单好用”四字方针的目标。
, |7 \. q& Y, N' m( S' t1)结构简单:仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成,控制单元集成在设备主机之内,亦可采用笔记本电脑驱动,真正实现了“拎着走”的便携式设计;
6 h/ ~7 p& ]9 d& ?1 `' s. v3 @2)真彩图像:配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像,对细节的展现纤毫毕现;/ D5 z3 N& n1 o
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i) [+ c& s, S# c6 K9 C8 q3)操作便捷:采用全电动化设计,并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换,图像视窗和分析视窗同界面的设计风格,实现了所见即所得的快速检测效果;
% S$ H c: j( r+ L7 Y, ^4)安全无忧:采用自研的电动鼻轮塔台,并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化,确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能轻松应对。! L6 W: l- p: |5 ~- y1 M
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