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本帖最后由 Happyday@ 于 2020-11-26 16:11 编辑 * d" v1 Z5 K( ]+ f6 D! v4 J
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1.静电和静电的危害
# a! m* x0 b. L+ W8 x7 l 静电是一种电能,它存留于物体表面,是正负电荷在局部范围内失去平衡的结果,是通过电子或离子的转换而形成的。静电现象是电荷在产生和消失过程中产生的电现象的总称。如摩擦起电、人体起电等现象。 随着科技发展,静电现象已在静电喷涂、静电纺织、静电分选、静电成像等领域得到广泛的有效应用。但在另一方面,静电的产生在许多领域会带来重大危害和损失。例如在第一个阿波罗载人宇宙飞船中,由于静电放电导致爆炸,使三名宇航员丧生;在火药制造过程中由于静电放电(ESD),造成爆炸伤亡的事故时有发生。在电子工业中,随着集成度越来越高,集成电路的内绝缘层越来越薄,互连导线宽度与间距越来越小,例如CMOS器件绝缘层的典型厚度约为0.1μm,其相应耐击穿电压在80-100V;VMOS器件的绝缘层更薄,击穿电压在30V。而在电子产品制造中以及运输、存储等过程中所产生的静电电压远远超过MOS器件的击穿电压,往往会使器件产生硬击穿或软击穿(器件局部损伤)现象,使其失效或严重影响产品的可靠性。
- o8 i* [. q$ |* s: z& \ k 为了控制和消除ESD,美国、西欧和日本等发达国家均制定了国家、军用和企业标准或规定。从静电敏感元器件的PCB设计、制造、购买、入库、检验、仓储、装配、调试、半成品与成品的包装、运输等均有相应规定,对静电防护器材的制造使用和管理也有较严格的规章制度要求。我国也参照国际标准制定了军用和企业标准。例如有航天部、机电部、石油部等标准。
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2.静电敏感器件(SSD)9 ~: a! a9 g4 k" T) s
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对静电反应敏感的器件称为静电敏感元器件(SSD)。静电敏感器件主要是指超大规模集成电路,特别是金属化膜半导体(MOS电路)。可根据SSD分级表,针对不同的SSD器件,采取不同的静电防护措施。
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% Z5 X; {7 V2 Z( P2 V! d3.电子产品制造中的静电源 _3 K9 q# I# R0 w4 N$ |6 E2 }1 p
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(1)人体的活动,人与衣服、鞋、袜等物体之间的摩擦、接触和分离等产生的静电是电子产品制造中主要静电源之一。人体静电是导致器件产生硬(软)击穿的主要原因。人体活动产生的静电电压约0.5-2KV。另外空气湿度对静电电压影响很大,若在干燥环境中还要上升1个数量级。 u" K$ I, R2 j5 v
人体带电后触摸到地线,会产生放电现象,人体就会产生不同程度的电击感反应,其反应的程度称为电击感度。
2 D0 s4 U3 D/ b+ K (2)化纤或棉制工作服与工作台面、坐椅摩擦时,可在服装表面产生6000V以上的静电电压,并使人体带电,此时与器件接触时,会导致放电,容易损坏器件。
) h: C! v: ]* Z+ n7 \0 K; i: ]4 J4 V8 z (3)橡胶或塑料鞋底的绝缘电阻高达1013Ω,当与地面摩擦时产生静电,并使人体带电。+ |9 v1 f+ ^& n
(4)树脂、漆膜、塑料膜封装的器件放人包装中运输时,器件表面与包装材料摩擦能产生几百伏的静电电压,对敏感器件放电。' |2 d* F2 D1 O" m( @
(5)用PP(聚丙烯)、PE(聚乙烯)、PS(聚内乙烯)、PVR(聚胺脂)、PVC和聚脂、树脂等高分子材料制作的各种包装、料盒、周转箱、PCB架等都可能因摩擦、冲击产生1-3.5KV静电电压,对敏感藉件放电。1 _- G5 @, r |4 B B% s
(6)普通工作台面,受到摩擦产生静电。
- H0 j6 M( s' E2 a; N (7)混凝土、打腊抛光地板、橡胶板等绝缘地面的绝缘电阻高,人体上的静电荷不易泄漏。5 K& a, @+ S, J, ]( o$ d4 ]- n
(8)电子生产设备和工具方面:例如电烙铁、波峰焊机、再流焊炉、贴装机、调试和检测等设备内的高压变压器、交/盲流电路都会在设备卜感应出静电。如果设备静电泄放措施不好,都会引起敏感器件在制造过程中失效。烘箱内热空气循环流动与箱体摩擦、CO2低温箱冷却箱内的CO2蒸汽均会可产生大量的静电荷。
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f% }# [7 Y4 ~% _* q 4.静电防护原理2 `3 L% y- \; C2 x
% \0 }& x2 m6 t+ A- y/ J! _5 x 电子产品制造中,不产生静电是不可能的。产生静电不是危害所在,其危害所在于静电积聚以及由此产生的静电放电。静电防护的核心是“静心消除”。
9 J( c1 e _' \ @5 L5 x0 V A: S' P 静电防护原理:
% f- g( f! o Q5 c( n (1)对可能产生静电的地方要防止静电积聚。采取措施在安全范围内。 u1 V3 T4 `; U/ t# r
(2)对已经存在的静电积聚迅速消除掉,即时释放。7 ~7 M2 F# O$ L' _# P) j
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5.静电防护方法
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) Z( W4 T# C+ R. D a1 P (1)使用防静电材料:金属是导体,因导体的漏放电流大,会损坏器件。另外由于绝缘材料容易产生摩擦起电,因此不能采用金属和绝缘材料作防静电材料。而是采用表面电阻l×105Ω·cm以下的所谓静电导体,以及表面电阻1×105-1×108Ω·cm的静电亚导体作为防静电材料。例如常用的静电防护材料是在橡胶中混入导电碳黑来实现的,将表面电阻控制在1×106Ω·cm以下。
( Q) i* v- _; A& ^) ` (2)泄漏与接地:对可能产生或已经产生静电的部位进行接地,提 供静电释放通道。采用埋大地线的方法建立“独立”地线。使地线与大地之间的电阻<10Ω。( b; |% H% b& g8 b( z' s6 O* ?
静电防护材料接地方法:将静电防护材料(如于作台面垫、地垫、防静电腕带等)通过1MΩ的电阻接到通向独立大地线的导体上。串接1MΩ电阻是为了确保对地泄放<5mA的电流,称为软接地。设备外壳和静电屏蔽罩通常是直接接地,称为硬接地。
8 h" b1 E' z( G4 ^6 i (3)导体带静电的消除:导体上的静电可以用接地的方法使静电泄漏到大地。放电体卜的电压与释放时间可用下式表示: UT=U0L1/RC式中 UT-T时刻的电压(V) U0一起始电压(V) R-等效电阻(Ω) C-导体等效电容(pf)
" C3 E0 G4 Y! O) j+ |* A8 R' g 一般要求在1秒内将静电泄漏。即1秒内将电压降至1OOV以下的安全区。这样可以防止泄漏速度过快、泄漏电流过大对SSD造成损坏。若U0=500V,C=200pf,想在1秒内使UT达到100V,则要求R=1.28×109Ω。因此静电防护系统中通常用1MΩ的限流电阻,将泄放电流限制在5mA以下。这是为操作安全PCB设计的。如果操作人员在静电防护系统中,不小心触及到220V工业电压,也不会带来危险。
) D; q r; A% j2 F4 w% T7 R8 R7 p (4)非导体带静电的消除:对于绝缘体上的静电,由于电荷不能在绝缘体上流动,因此不能用接地的方法消除静电。可采用以下措施:
S! d+ ^/ s( M! z! C (a)使用离子风机—离子风机产生正、负离子,可以中和静电源的静电。可设置在空间和贴装机贴片头附近。3 z+ `& \+ f( y, a; m4 i
(b)使用静电消除剂—静电消除剂属于表面活性剂。可用静电消除剂檫洗仪器和物体表面,能迅速消除物体表面的静电。
) E2 I/ O+ l( I# Y9 p) a (c)控制环境湿度—增加湿度可提高非导体材料的表面电导率,使物体表面不易积聚静电。例如北方干燥环境可采取加湿通风的措施。
7 N5 I0 P" ~8 b: k (d)采用静电屏蔽—对易产生静电的设备可采用屏蔽罩(笼),并将屏蔽罩(笼)有效接地。& U7 y, \1 o) b3 o- p8 D; {9 O
(5)工艺控制法:为了在电子产品制造中尽量少的产生静电,控制静电荷积聚,对已经存在的静电积聚迅速消除掉,即时释放,应从厂房PCB设计、设备安装、操作、管理制度等方面采取有效措施.5 ? ^+ W" C& ]4 L% Z5 C+ X0 g
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6.静电防护器材$ o6 I$ }. |' s5 E- t! ]
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(1)人体防静电系统包括防静电腕带、工作服、帽、手套、鞋、袜等
2 a" S( O( ?9 w (2)防静电地面包括防静电水磨石地面、防静电橡胶地面、PVC防静电塑料地板、防静电地毯、防静电活动地板等。4 y/ n6 {, s% @* \$ D1 n$ D% n
(3)防静电操作系列:包括防静电:I:作台垫、防静电包装袋、防静电物流小车、防静电烙铁及工具等。
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7.静电测量仪器.
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0 S+ R9 V6 M o* {2 N0 E% G (1)静电场测试仪:用于测量台面、地面等表面电阻值。平面结构场合和非平面场合要选择不同规格的测量仪。
1 _( }" o3 s; ^: H6 `5 A (2)腕带测试仪:测量腕带是否有效。2 Q. ^0 E% e/ ]8 ]& H e; R; U3 T
(3)人体静电测试仪:用于测量人体携带的静电量,人体双脚之间的阻抗,测量人体之间的静电差,腕带、接地插头、工作服等是否阻护有效。还可以作为入门放电,把人体静电隔在车间之外。+ P$ _+ b" m9 M( y: A
(4)兆欧表:用于测量所有导电型、抗静电型及静电泄放型表面的阻抗或电阻。
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Y) r7 V* |9 L7 t* Q3 F. w8.电子产品制造中防静电技术指标要求0 k" L' T2 b) o% x1 l6 z \- M
, ]' a0 Q& _0 b% `5 Q% \$ ^ (1)防静电地极接地电阻<10Ω。
' X. r6 k! w: T; f4 B1 X. o; E (2)地面或地垫:表面电阻值105-1010Ω;摩擦电压<100V。
' _) M( @% t- _ (3)墙壁:电阻值5×104-109Ω。5 u4 B5 m- a2 x ~
(4)工作台面或垫:表面电阻值106-109Ω;摩擦电压<100V;对地系统电阻106-108Ω。! ^" F/ q4 \* {1 `" Y
(5)工作椅面对脚轮电阻106-108Ω。
/ X6 M1 ~2 s% K7 s+ C+ l (6)工作服、帽、手套摩擦电压<300V;鞋底摩擦电压<100V。4 Q" T" A; T( K3 x4 U# j% q
(7)腕带连接电缆电阻1MΩ;佩带腕带时系统电阻1-1OMΩ。脚跟带(鞋束)系统电阻0.5×105-108Ω。1 Q! H/ H: e6 s0 J4 [: M. T. c
(8)物流车台面对车轮系统电阻106-109Ω。0 a, h( N9 |0 z2 ~* G$ B4 D
(9)料盒、周转箱、PCB架等物流传递器具一表面电阻值103- 108Ω;摩擦电压<100V。
& Y0 }3 U% ]) j4 g( Y2 s" d (10)包装代、盒一摩擦电压<100V。: R, L- V8 h' T/ J8 t
(11)人体综合电阻106-108Ω。& O. i- w) u: [& J* V e4 ^
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" v8 y9 _. _3 N# z9 .电子产品制造中防静电措施及静电作业区(点)的一般要求% a6 L/ J, e1 r2 [8 `( B- _
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SMT生产设备必须接地良好,贴装机应采用三相无线制接地法并独立接地。生产场所的地面、工作台面垫、坐椅等均应符合防静电要求。车间内保持恒温、恒湿的环境。应配备防静电料盒、周转箱、PCB架、物流小车、防静电包装带、防静电腕带、防静电烙铁及工具等设施。5 n& q, E: u3 ~' ?. ~$ e
(1)根据防静电要求设置防静电区域,并有明显的防静电警示标志。按作业区所使用器件的静电敏感程度分成1、2、3级,根据不同级别制订不同的防护措施。6 J$ U: g' z: V1 b/ T6 ]* h$ P1 g
1级静电敏感程度范围:0-1999V * \; l0 I* L, }/ d! r
2级静电敏感程度范围:2000-3999V
% Y4 {) w \4 g. g; G9 {% J1 {4 e4 l 3级静电敏感程度范围:4000-15999V 16000V以上是非静电敏感程产品。6 s# {; h2 z8 E
(2)静电安全区(点)的室温为23±3℃,相对湿度为45-70%RH。禁止在低于30%的环境内操作SSD(静电敏感元器件)。
' q/ [! s3 A# {% i (3)定期测量地面、桌面、周转箱等表面电阻值。
/ m6 ?( h" x' S, X0 e6 \ (4)静电安全区(点)的工作台上禁止放置非生产物品,如餐具、茶具、提包、毛织物、报纸、橡胶手套等。) c% f+ O' B6 x+ t
(5)工作人员进入防静电区域,需放电。操作人员进行操作时,必须穿工作服和防静电鞋、袜。每次上岗操作前必须作静电防护安全性检查,合格后才能生产。
# K6 E3 ` D. M) T# q2 `9 x (6)操作时要戴防静电腕带,每天测量腕带是否有效。5 w4 }9 U* g( \- R) C# d1 I
(7)测试SSD时应从包装盒、管、盘中取一块,测一块,放一块,不要堆在桌子上。经测试不合格器件应退库。+ d6 A7 V7 m5 E( A( B0 W
(8)加电测试时必须遵循加电和去电顺序:低电压→高电压→信号电压的顺序进行。去电顺序与此相反。同时注意电源极性不可颠倒,电源电压不得超过额定值。
4 e+ ~/ i2 K- o7 h- E (9)检验人员应熟悉SSD的型号、品种、测试知识,了解静电保护的基本知识。
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10.静电敏感元器件(SSD)运输、存储、使用要求, t" G8 Z* F0 @2 ]$ C4 X* L
) _# f+ M7 i8 [! l0 m( b4 X6 A (1)SSD运输过程中不得掉落在地,不得任意脱离包装。! m6 J0 j0 K/ u/ ?- }) r4 v
(2)存放SSD的库房相对湿度:30-40%RH。; w. c1 L0 K" J& F& G1 J+ N
(3)SSD存放过程中保持原包装,若须更换包装时,要使用具有防 静电性能的容器。
" @$ k$ A0 K7 v( d (4)库房里,在放置SSD器件的位置上应贴有防静电专用标签。
! X% w# K# W. q9 q/ }8 ? (5)发放SSD器件时应用目测的方法,在SSD器件的原包装内清点数量。
' G" m# C& n3 c z' e/ i (6)对EPROM进行写、擦及信息保护操作时,应将写入器/擦除器充分接地,要带防静电手镯。. h; z/ b, A+ Y
(7)装配、焊接、修板、调试等操作人员都必须严格按照静电防护要求进行操作。
8 f3 X/ }% g$ g (8)测试、检验合格的印制电路板在封装前应用离子喷枪喷射一次,以消除可能积聚的静电荷。$ P1 R4 x% H/ K: g8 _/ Z: }$ z; j
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11.防静电工作区的管理与维护
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(1)制订防静电管理制度,并有专人负责。
2 v6 b: N; i, u& U (2)备用防静电工作服、鞋、手镯等个人用品以备外来人员使用。) s2 E/ P' F! H6 h
(3)定期维护、检查防静电设施的有效性。
. E, C. W8 i+ W {" ~ (4)腕带每周(或天)检查一次。
2 M z! I, @. x. L( ~4 o (5)桌垫、地垫的接地性、静电消除器的性能每月检查一次。) ?( w# e, C/ U# j& C
(6)防静电元器件架、印制板架、周转箱;运输车、桌垫、地垫的防静电性能每六个月检查次。' z" n7 h" T" W3 c" Y& K
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