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求助:Mos管的主流工艺?技术趋势?

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  • TA的每日心情
    奋斗
    2022-4-26 15:14
  • 签到天数: 152 天

    [LV.7]常住居民III

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    1#
    发表于 2019-12-27 17:32 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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    求助:Mos管的主流工艺有Trench、Planar工艺结构,两种工艺的优缺点有哪些?感谢~- U( ]  @3 J. K+ |2 v% i0 q
  • TA的每日心情
    开心
    2022-4-26 15:18
  • 签到天数: 153 天

    [LV.7]常住居民III

    2#
    发表于 2019-12-27 18:18 | 只看该作者
    TRENCH工艺主要用于低压MOSFET,为了降低导通内阻,把栅极结构做成了类似U型槽, `  P# \8 A  s& _' O; b( P
    PLANAR工艺是普通工艺,也是最常见的VDMOS结构。
    , o  T+ e$ y, Z% \
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