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摘要:本文介绍了激光位移传感器的性能.以及由ADS7805和 单片机构成的数据采集传输设备。该系统能够检测80+15mm 范围的位移量,分辨率3p,m,检测精YJ[.+151,zm,工作带宽2kHZ以上,可适用于多种非接触测量领域。 " x$ o5 \2 y$ Z8 d* F+ @
激光位移传感器是一种非接触式的精密激光测量装置,它 具有适应性强、速度快、精度高等特点,适用于检测各种回转 体、箱体零件的尺寸和形位误差。该传感器可与快速的反馈跟 踪系统配合使用,能够准确快速地测出表面的形状与轮廓。它 克服了接触式检测中的诸多缺点.既提高了检测速度。又保护 了被测工件表面免受划伤及防止传感器变形。 % G! f$ m& B) s6 r
激光位移传感器是基于激光光三角原理设计和制造的,如 图1所示.由半导体激光机发出波长为670nm的激光光束,经 过发射光学系统后会聚在被测物体表面。形成漫反射。该漫反 射像经过接收光学系统后成像在CCD上,并被转换成电信号。 当被测面相对传感器在Y方向移动时,漫反射像也将移动.在 CCD光敏面上的成像必将跟着移动位置.这样即输出不同的电 信号。根据光三角原理制成的激光位移传感器,就这样将位移 量最终转换成电信号,从而与其它设备进行接口。 如图1中所示的激光位移传感器.其测量距离为65mm~ 95ram,也就是80±15mm,分辨率3恤m。在使用时应注意,不能将 CCD的成像的光路空间(图中阴影部分)给遮蔽住,否则无法接 收激光漫反射像的传感器将输出超出测量范围的报警信号。
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