找回密码
 注册
关于网站域名变更的通知
查看: 572|回复: 0
打印 上一主题 下一主题

晶圆制造到底有多难?

[复制链接]

该用户从未签到

跳转到指定楼层
1#
发表于 2018-8-8 16:55 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

EDA365欢迎您登录!

您需要 登录 才可以下载或查看,没有帐号?注册

x
晶圆的制造工艺倒不是很复杂,其难度在于全球IC采购网qic.com.cn半导体产品对晶圆的纯度要求很高,纯度需要达到99.999999999%或以上。
0 U6 j" V9 [1 p: Q7 g
2 `4 E# p4 V* h$ k$ S以硅晶片为例,硅从石英砂里提炼出来,在高温下,碳和里面的二氧化硅发生化学反应只能得到纯度约为98%的纯硅,这对于微电子器件来说不够纯,因为半导体材料的电学特性对杂质的浓度非常敏感,因此需要进一步提纯。
8 p3 c: [4 ^7 U( |而在进行硅的进一步提纯工艺中,光刻技术的难度很高,在晶圆制造工艺中,光刻是必须经历的一个步骤。
" g( L3 _1 m' u" C, A! {1 H) ]5 `6 I1 A" v/ r. n& x$ H
光刻工艺是晶圆制造最大的“一道坎”
2 X1 b, I+ N" `* R晶圆制造中的光刻是指在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
$ }$ l' C% \8 v8 ]8 [7 K- h( K/ r3 {% ^/ t. W: R8 f& S
1、光刻去薄膜是晶圆制造的必经流程
7 b5 u8 m3 d! a9 O由于晶圆生产工艺中,其表面会形成薄膜,这需要光刻技术将它去掉。在晶圆制造过程中,晶体、电容、电阻等在晶圆表面或表层内构成,这些部件是每次在一个掩膜层上生成的,并且结合生成薄膜及去除特定部分,通过光刻工艺过程,最终在晶圆上保留特征图形的部分。: ]7 H: E) T  t( C6 A! x% C9 z

! K' V, u2 g/ a7 _0 C4 Q$ o/ s2、光刻确定尺寸,马虎不得, X6 o* j: A% c$ N
光刻确定了器件的关键尺寸,光刻过程中的错误可造成图形歪曲或套准不好,最终可转化为对器件的电特性产生影响。
9 K) W1 j: h8 u' h6 |& M3 B8 l$ B- y6 U9 G1 b
3、高端光刻机产能严重不足) [0 @+ A% u# J) }% _* m
光刻机也叫掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,常用的光刻机是掩膜对准光刻。光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。目前光刻机市场,以荷兰、日本的企业为主力军,全球能制造出光刻机的企业不足百家,能造出顶尖的光刻机的不足五家,在高端光刻机市场,中国企业几乎全军覆没。0 |! Y. G3 x3 v% v
0 Q3 |1 |% s* g+ A9 o
15家硅晶圆供应商垄断95%以上市场' Y7 c8 D  k3 b0 {# _( W9 Z& R" ~5 H0 v
正是由于晶圆制造难度大,客户对纯度与尺寸的要求很高,全球的主要15家硅晶圆供应商垄断了95%以上市场。
: M+ J+ l2 ?4 k" M, d 7 y, m2 M& D7 b+ u3 P+ ?7 _; e7 W

; d* j8 U. G; C- ]% t) t
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

关闭

推荐内容上一条 /1 下一条

EDA365公众号

关于我们|手机版|EDA365电子论坛网 ( 粤ICP备18020198号-1 )

GMT+8, 2025-6-22 20:52 , Processed in 0.093750 second(s), 28 queries , Gzip On.

深圳市墨知创新科技有限公司

地址:深圳市南山区科技生态园2栋A座805 电话:19926409050

快速回复 返回顶部 返回列表