什么是离子注入？对芯片工艺有何影响？

zawq · 发表于 2021-3-10 13:35

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什么是离子注入？对芯片工艺有何影响？

Ｄ.H · 发表于 2021-3-10 14:42

离子注入是半导体掺杂以及改性常用的一个工艺

Ｄ.H · 发表于 2021-3-10 14:43

把需要掺杂的杂质电离成电子,然后加速,去碰撞到半导体wafer上,就像弯弓射箭靶一样,箭的动能越大,射进靶的深度也会越深。

silenced · 发表于 2021-3-10 14:52

离子注入机是很关键的一环。注入机是高压小型加速器中的一种,是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还能用于太阳能电池等的制造。

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