半导体行业VOC气体制程管控

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    半导体行业作为高新技术产业往往被人误解为 “清洁”产业，但事实上，半导体生产过程中使用了大量有机和无机物，包括许多有毒有害物质，对环境危害较为严重，如不加以控制，将会产生较大的环境污染。半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气。半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点，以挥发为主。

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    半导体行业VOCs废气主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序，在这些工序中要用有机溶液（如异丙醇）对晶片表面进行清洗，其挥发产生的废气是有机废气的来源之一；同时，在光刻、刻蚀等过程中使用的光阻剂（光刻胶）中含有易挥发的有机溶剂，如醋酸丁酯等，在晶片处理过程中也要挥发到大气中，是有机废气产生的又一来源。

      半导体生产制程包含精密的微机电和集成电路，对于生产环境之洁净度的要求特别严格，因此整个制造过程都必须在严格控制的环境条件下进行。 随着制程特征尺寸（feature size）快速缩小，洁净室环境空气质量的要求也更为严苛。对于半导体制程VOC的监测以下几个环节：全厂环境监测；滤网效能检测；制程中晶圆搬运盒洁净度检测；厂内主要气质检测；制程污染鉴定等。

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     在这里，深圳新世联科技有限公司给大家推荐一款VOC气体传感器PID-AH5， PID-AH5传感器的英国Alphasense公司研发的光离子化传感器专门用于检测VOCs气体的传感器，该传感器是一款简单的即插即用式传感器，能在多种不同应用中对数千种挥发性有机物（VOCS）提供动态且可靠的响应。该传感器专为扩散式和在线式泵吸式设计，提供出色的响应时间和清除率，采用特殊亮度和稳定性的灯泡，能够在较长时间内可靠地检测挥发性弱和不易检测的化合物。

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          PID-AH5传感器的主要性能如下：
          线性范围：1ppb-40ppm（异丁烯）
( H* l4 `6 b! j' T( e; X7 G          T90响应时间：2s
' M; O4 E1 n- [' P. v7 r3 |          典型灵敏度：50mV/ppm
          灯泡能量：10.6ev
          功耗：80mW-200mW（取决于供电电压）
          供电电压：3.2-5.5VDC
! @* m9 k5 Y# `; V          输出信号：0.040-2.85V

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定期对废气进行监测，确保其浓度和成分符合国家和地方的排放标准。同时，对于可能存在泄漏的设备和管道，也需要进行监测并及时处理。