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线路哪些原因会造成电镀时产生渗镀?

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发表于 2023-2-13 10:05 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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线路哪些原因会造成电镀时产生渗镀?
7 \7 X! w4 P8 q3 [9 P* O% j1 H3 I

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2#
发表于 2023-2-13 11:05 | 只看该作者
干膜性能不良,超过有效期使用

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3#
发表于 2023-2-13 13:23 | 只看该作者
基板表面清洁不干净或粗化表面不良,干膜粘附不良

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4#
发表于 2023-2-13 13:58 | 只看该作者
贴膜温度低,传送速度快,干膜贴得不牢;电镀前处理药液温度过高。

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5#
发表于 2023-2-13 14:32 | 只看该作者
曝光能量过高导致抗蚀性发脆;曝光能量不足显影速度过慢造成抗蚀剂发毛边缘起翘。
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