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射频溅射与偏压溅射的区别

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发表于 2022-4-6 14:09 | 只看该作者回帖奖励

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薄膜科学与技术里面的，希望专业人士能够详细的为我解惑

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发表于 2022-4-6 14:59 | 只看该作者

射频溅射用射频电源提供能量激发等离子，偏压溅射用的是直流产生等离子，射频溅射能用绝缘靶偏压则不行，还有膜的致密度射频更好

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发表于 2022-4-6 15:51 | 只看该作者

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