EUV（极紫外光）光刻机与DUV（深紫外光）光刻机相比，哪个更具有优势？

KIObole · 发表于 2021-1-7 11:02

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fordies1 · 发表于 2021-1-7 11:30

EUV光刻机的吞吐量相对较低，每小时可曝光处理的晶圆数量约在120片－175片之间

fordies1 · 发表于 2021-1-7 11:31

EUV生产效率更高，原因在于1层EUV晶圆通常可以代替3－4层DUV晶圆。

Zjianeng · 发表于 2021-1-7 13:21

EUV光刻机耗电量非常大

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