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EUV(极紫外光)光刻机与DUV(深紫外光)光刻机相比,哪个更具有优势?

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发表于 2021-1-7 11:02 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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EUV(极紫外光)光刻机与DUV(深紫外光)光刻机相比,哪个更具有优势?
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    发表于 2021-1-7 11:30 | 只看该作者
    EUV光刻机的吞吐量相对较低,每小时可曝光处理的晶圆数量约在120片-175片之间
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    发表于 2021-1-7 11:31 | 只看该作者
    EUV生产效率更高,原因在于1层EUV晶圆通常可以代替3-4层DUV晶圆。
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    2020-9-2 15:07
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    发表于 2021-1-7 13:21 | 只看该作者
    EUV光刻机耗电量非常大
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