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版图经验总结1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.
3 i7 X5 P$ s* s+ ]1 C) r9 r2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.3 x& I/ E" h/ K9 w5 H
3布局前考虑好出PIN的方向和位置1 I; r4 L! i5 t) M7 W9 I% x3 k6 W! J% ]
4布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起$ A6 r. X) s' s, s) x
5对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。* b% s' N' c6 N4 {) J% b* a5 @0 ~+ S
6对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开混合信号的电路尤其注意这点. 7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.
$ i# O- I& N, g$ S7 J: s8更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错. 9将不同电位的N井找出来.
" K) [, o$ s6 {/ e10 更改原理图后一定记得check and save
# k( O- Z: }0 g/ c/ ~11 完成每个cell后要归原点
. j. C! ^6 F# l# p/ D12 DEVICE的
" ]: E- M+ \. l( A3 u" A个数/ Q. [- E5 a3 @" q. `2 n0 E& Y y e& y
是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线0 K0 Y; m% W! t0 Y
必须
, \2 v b4 r {9 d1 D$ {) n- ?先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).+ X: B2 `% q* T" N' \& U1 L
13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。
& o9 R; C: d" {6 `- C1 }3 p14 尽量用最上层金属接出PIN。( J' {( e) z1 `
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.
- v: `7 y6 h0 R/ z0 K& l16 金属连线不宜过长;1 }3 z0 }! a, x- t6 ^( p
17 电容一般最后画,在空档处拼凑。- T! z; L( y9 w6 e
18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.
1 z0 q6 O9 ~6 z" a! ^19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。9 Q( ?# h1 }7 k- I
20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.% K" {2 |' V+ t4 y& h
21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.6 T; C& a! C2 u; m, h
22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。
0 ^0 s$ U3 e. x+ f7 b# d+ q23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.1 M' v' g7 r7 A0 g7 ]3 ~9 e
24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.; Y/ I2 b& S3 F6 q$ b, x
25 一般打孔最少打两个
, A5 T( l3 B0 j- _7 b2 F- V- u26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值./ ~- J+ P( d* X' k: y) m
27 薄氧化层是否有对应的植入层: R w7 s7 ~" ^! }+ \2 w( E
28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.
6 l7 C' {$ K/ M3 e3 I29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度
/ [' X7 o3 ~( Y) z% _' S30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。4 [7 L) g3 v3 p
31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。
) F: n {: f+ d- X+ ]32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.4 `- j R3 _2 z* \5 T8 i- e% q: ]: h! r
33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。' V9 ]8 Q8 b. ]& d
34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.
* w" h9 y3 Q* b" c" k35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层
; D! S# R( Y C# x9 g& I; e36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.
# z" [9 }8 h8 d6 Y$ K$ ^37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。! f1 w( j5 p0 q |8 i7 X; c# K. [
38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。' n1 ^; Y- r2 c3 x v$ P d
39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。) c& @" Q. @, |+ p
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.: M- T( J: X' |2 F
41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
7 z, _! d1 a: @3 e42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.
7 q' O( P u1 Y* T43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.
1 m4 n: E: O' l: ]44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.' S; u! [/ g$ D/ ~) x; G
45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.( ` l) P. b( D3 @
46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。
/ S# G5 Z% u+ a3 ~, G. S7 ?# k匹配分为横向,纵向,和中心匹配。
& g# _# Z8 x( t4 n0 f" F1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置) 21* {( I& [+ B9 X4 h" L- u' T3 A
中心匹配最佳。
9 b; J; T# ^0 n) @47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
! f5 [, W' U9 H! C4 h% o; F48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.
; F0 j$ d. ~. G3 v" d49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。
( l0 \( P5 _; P2 u3 i4 H( y50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.' V3 B; q7 k5 ^" a0 D0 j* u
51 05工艺中resistor层只是做检查用# T5 @) D! ?: ]5 n$ L f
52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.5 C& t2 o2 ^, B) e" C; d9 F: c( h$ f
53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样. O. B2 L% P! t) @% Z
54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。
/ R O/ J( u1 v55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属." B4 @5 D- k- M/ u8 Q8 W8 W
56 关于powermos: @4 @; a& ?, f
① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,
" T* e" Y& R7 |% ~ H I9 s② 几种缩小面积的画法。9 Y: w, m9 e" t' w5 |; H2 `. i
③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um6 v7 k- p4 c' [& ?
57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).( K0 L, @6 x8 i; f; K4 y: J% j
58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向
U9 W6 I+ _* R59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
3 H% A4 f1 m) s( k0 b5 I60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。; I9 I. w1 Z4 k9 X6 s- }
61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.
( K! B4 E/ w6 W4 o/ ?7 b62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.
( M, K# p$ ?* G& e; d63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.$ i# x1 y1 M; G! f, \% D, K
64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
1 r; R1 f- Z) ^, T3 w& r) b7 g, s( K65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.
, r+ ?4 s' a1 O66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.
$ c( f- p5 g1 p2 N& H67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联 {" d% O5 B( L- q3 |/ y
68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.出错检查: Y% |3 M, G. `6 b" F. T, `
69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;
' K- J4 R) U) }3 h6 b70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX
0 C* ^. m& k& X" C! t- M71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。
- Z+ p' M# w+ F+ d c Z72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。3 ~ r1 W# Q0 G1 H! K2 [
73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起: H; X/ k6 }0 A9 }6 |$ d a
74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端( M1 D* {/ o( `/ k. v
75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.1 T. c' L4 A# K' d1 O
76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE. ' ~3 L. }" {4 a. u E
77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.
; ~5 K& G1 M* N; P* R78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy7 \7 s z- O& q4 h
79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.$ L0 M/ }1 Q9 h. r! O0 ^; l1 Y* q
80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
2 a1 N- l5 Z9 |3 x, w9 S. T81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱./ k) r! B3 y" N% j; z
82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则. E* E8 O6 s7 m
83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.容易犯的错误( `+ z6 W" G. x* U6 F. g
84 电阻忘记加dummy
5 z( M! ?8 o- l; u1 s85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.
: Q/ k6 C3 j4 T. _4 \8 W86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.
, [/ M$ N/ d7 I; {/ v: K: }87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.9 {; P9 u- _( d# v
88 是否按下capslock键后没有还原就操作; w' V& Q& y0 _2 Q4 ]6 f
节省面积的途径/ D( E4 j/ a7 |
89 电源线下面可以画有器件.节省面积.
7 _! J# L2 @$ N/ q90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。
5 r- i* a; r7 @) i91 电阻的长度画越长越省面积。
6 C+ Q$ `! \0 l( M* y92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.
+ |" o7 v2 z1 f3 d; ^7 [ r3 Y93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。5 k) C6 l9 l8 U+ Q
94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN
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