华卓精科获8700万的战略投资 推动光刻机国产化

ByElmer1

光刻机是集成电路最具关键性的基础装备之一，全球只有3-4家厂商可以生产制造，中高端产品几乎被国际厂商垄断，要想解决我国集成电路产业发展中的“卡脖子”问题，推动光刻机的国产化势在必行，需要调动国家资本、产业资本和社会资本的共同参与。

日前，集成电路装备及关键零部件企业华卓精科获得浑由浑璞投资、中国国际金融股份有限公司和红星美凯龙控股集团共计8700万的战略投资。其中，浑璞投资的投资金额为6600万元。

与此同时，华卓精科发布公告，公司收到北京市经济和信息化委员会拨付的国家科技重大专项中央财政资金合计1.39亿元。

华卓精科由科技部首批重点领域“超精密机械与测控创新团队”负责人，中组部国家万人计划专家、清华大学机械工程系长聘教授、博士生导师，机械电子工程研究所所长朱煜教授于2012年创立，专注于集成电路装备技术研发及产业化，在集成电路制造用前道光刻机的重要部件——双工件台的研发和产业化方面处于领先地位，是除世界光刻机龙头——荷兰ASML公司外全球第二家可以生产光刻机双工件台的企业。

华卓精科也是清华大学集成电路设备技术17年技术积累的产业化平台，公司挟高精尖技术向下俯冲，在激光退火、硅片堆叠、扫描干涉光刻、平面光栅、高精密运动台、静电卡盘、隔振器等集成电路装备和关键零部件领域处于国内领先水平。

光刻机被周光召先生誉为新时代“两弹一星”般的“神器”和世界上最精密的仪器。而光刻机双工件台作为光刻机的两大核心子系统，因要在最大加速度不小于30 m/s^2、最大速度不低于500m/s的工作状态下，使运动误差保持在2纳米之内，也就是人头发丝直径的四万分之一，可以想象为两架时速1000公里/小时的飞机在任意时刻的飞行位置偏差不超过一个微米。如此极端的性能指标，使光刻机双工件台成为当之无愧的“精密机械之王”，其制造也成为世界级难题。

华卓精科肩负双工件台国产化这一世纪挑战，承接清华大学2001年以来在“863计划”光刻机工件台方面的核心技术，已申请发明专利231项，其中已授权中国发明专利139项、授权国际发明专利23项。华卓精科于2014年联合清华大学成功推出了中国第一台满足65纳米光刻机需求的双工件台样机，现在正在向28纳米制程的浸没式光刻机双工件台这一世界级技术高地发起冲锋。

浑璞投资是一家专注于集成电路产业链布局的股权投资公司。此次领投华卓精科，是继今年八月份领投全球领先的磁性材料和新一代磁存储器刻蚀装备企业——鲁汶仪器后，在集成电路装备领域的又一次重大布局。当前，全球半导体进入第三次景气周期，新一轮的晶圆厂建厂高峰期会带来对设备的需求增长，集成电路装备是行业景气的最先受益者，因此当前是布局集成电路装备行业的黄金时期。

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