磁控溅射中频电源仿真研究

Allevi

磁控溅射中频电源仿真研究

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7 m( N( S* v% e7 B) x4 z磁控溅射中频电源及其辉光放电负载是一个典型的强非线性时变系统,对该系统建模并求其解析解是相当困难的。使用SIMulink对磁控溅射中频电源建模,对电源工作时各种工况下输出电流波形进行了研究。
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