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前的准备:
' p3 j( k$ H) e- c( P1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.
+ V/ S6 b7 W' D( U; M% J0 o. I2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.
& R/ K1 [7 h- K3 布局前考虑好出PIN的方向和位置* S' y( V1 D( p% O, b$ g
4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起! s' Z; i" @2 T8 `5 n
5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。0 _ @& {2 b/ d+ q8 I3 C
6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.8 K' B8 P; ^# A6 C8 Y
7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.% n1 V6 p& R' T& X
8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错. w2 q2 |6 c: |! ?( ^9 }
9 将不同电位的N井找出来.& v$ ^9 O; z5 F% F
& X% P0 g$ x' q8 R2 `- l
布局时注意: y$ y' H1 {; F M
10 更改原理图后一定记得check and save
3 W* f" n/ T6 a S( p+ y6 z# Z11 完成每个cell后要归原点
* l& w: N$ L1 {* E' x p12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).
1 U. _- U" _! [2 S2 G7 F; {13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。
& V" a6 j$ E6 d% y t$ i: l14 尽量用最上层金属接出PIN。7 D# k, h, X9 g7 ?& q6 V
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.) C* j" ]; p/ x6 e3 p* s# s' i
16 金属连线不宜过长;
1 m. L1 M( x! c0 H4 ?3 @0 ?. {$ ^17 电容一般最后画,在空档处拼凑。
8 M& \9 ]' |+ x" z4 C. u$ s7 v18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.8 J3 ~$ L8 ~/ x5 j
19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。
/ E8 W) }( [) `* _) x20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.9 y9 W6 N; X& p" R2 n/ s$ b
21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.
" m' H @0 @( _1 h* D6 H0 T6 x C22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。
" A' f. }7 V* F* \* S1 |& |/ ^23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.
4 a4 k4 N, B% i4 K& ~ t24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.
6 F& @9 [2 ^: Y u% z7 H7 _5 K25 一般打孔最少打两个
" r1 J2 g. ^$ H" A+ q: b26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.
: \0 o& C8 t: l$ w2 A! W2 u27 薄氧化层是否有对应的植入层
3 s0 _! C4 I E+ d# G. s28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.+ b3 m7 A- Y: c0 W+ A5 M; U9 T
29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度: H! R: o% k" M x2 z0 z- L
30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。
: W/ N2 t3 k( s31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。6 R Q, K M% F! v
32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.- z; T* N+ B/ C Y) I/ g
33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。
4 l3 w( v3 ?- N3 U. N4 v34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.. D/ c( T$ E9 a0 @" z6 D; V! [
35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层) u( K. ?1 C) \+ K6 o8 {
36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.
$ R! X3 k* R4 j2 P& y$ i- Q37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。
" U) s6 M, B2 {& n. c# E38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。
5 ~! X8 [' I" \0 K- Y1 T5 n! M39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。* g% [1 g( B0 l9 D& m
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.5 M3 S \0 p g4 [5 ?
41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。7 ~) d# s4 o+ N* o1 P% I( j& W% |
42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.
9 y! s. ^& x* }0 I43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.6 C- P$ D2 b e# V
44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.* R8 {' v( A. ?5 h
45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
0 }+ u" \% x3 O9 H4 Z46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。
/ k6 ?# d( i: O4 Y1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置) ]8 F5 L1 f7 G3 Q: w' @. b5 ^. \
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}" X) o# I% }4 N中心匹配最佳。
/ G4 J/ C8 I* O. H47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
: p2 Z# z4 s# O+ p48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.6 Y; F! |( T! e
49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。; W; L. F$ v: r" V/ K9 ?
50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.
, m* e: a, a: |% z. M51 05工艺中resistor层只是做检查用. V; c5 \8 n# E
52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.3 T7 N0 q! {. l% {( y2 W/ d+ u: c( a
53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.- n3 @1 Z$ s. N3 b
54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。6 N* I$ H" g' M" z" d) R* T* P
55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.* i5 |5 h2 h! g3 ^
56 关于powermos
* D( C0 m. s" z& p6 @① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,& b1 |% t4 s# F) M4 M4 Q
② 几种缩小面积的画法。
1 v3 g; p& T, z- }1 I% l③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um. r# `7 t* F5 Z
57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).
2 b9 K/ n ? V8 J* ]58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向
5 O! m2 a8 d! A$ Y59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用./ t) i; ~+ V1 V
60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。- e+ \' e. V' `# O: w0 @/ \8 B
61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.7 ~3 e; Y% O ~) L" Y. @
62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.
( @7 M( [1 N d/ D63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.
& e1 l( \. j' G5 U( j64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
; D$ m/ Y8 r- s65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.
5 B1 ]" E6 t9 O2 K; d: }66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.
# \) F& P3 q" F) K) q+ h5 h67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联
, q$ n) m1 E& ]. z# K: q7 `68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端./ c7 J h; R" _
7 @% l' m0 r: y# A2 F
出错检查:2 ]+ i/ y" Q9 X4 P5 _4 [) c3 [
69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;
! b2 ~6 O/ R4 I) j v70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX8 R& b* ~9 A% d( t) E( N
71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。
) ]( n$ e- x5 x* W# s72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。4 _& x* Z8 Z: `& ~; U# r
73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起$ e/ C( f/ J/ b a+ y+ ^% k$ |
74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端
- V: r6 r. b! {) _+ `75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.2 Y/ g0 }, J. q. g: o
76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE.
1 Q3 X: p' ^$ I! G' h+ S77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.$ n1 o0 Z" M8 w/ c
78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy
2 @3 g6 r2 q( F# c+ p79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.0 t, `3 P$ R4 q# M1 j/ }
80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.# T9 `0 C+ Z/ x, t6 ~
81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.
% r" S* Y F7 W; [ U7 t- J5 y82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.6 I: ?* N5 O4 u6 }( J+ [
83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.
* S& q& K9 U3 D5 x" U+ Z
* Y W- M, I6 _! Q0 K容易犯的错误' |& @+ \ j% z0 m1 p1 w
84 电阻忘记加dummy
, _* Q0 G9 r' c& B) V" L; h85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏./ W6 ~7 t2 |" K y
86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示. U- D3 Z4 M* s* X) e# F
87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.
+ x! W m& }" H4 u5 ^) I) ^88 是否按下capslock键后没有还原就操作
$ s. X- `* A. X" l2 J- o) Q
" S- c- s I8 W% K6 O节省面积的途径
3 U N) Q$ i7 o4 y9 A: s" P89 电源线下面可以画有器件.节省面积.5 d+ b5 L# T X: T& ~. @! Y
90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。- J' k5 w- a9 c5 S0 Q2 t
91 电阻的长度画越长越省面积。
7 v* Y9 [: l$ `4 [) |. d8 R! J92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.5 E+ p# u( F& f' e: {6 X4 A
93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。6 H8 t, M& {6 [- l+ j+ M
94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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