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前的准备:3 I" ?. e& d- G. P
1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.; ?' {3 m6 q1 f. y1 O2 f, Y
2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.0 Y% v* k" k0 { d' E/ w* s& ^' ?
3 布局前考虑好出PIN的方向和位置: W4 M5 X5 p+ }& o3 s1 i/ m" I- k% y
4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起$ f) u. B% ]+ i9 r. }
5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。$ S1 u9 a! C/ D
6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
/ A4 J. A- p/ h* {' m+ X/ L/ `7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.
, `( z; m; g" \! M' t8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.
- S: Z* c% K* `# ~9 将不同电位的N井找出来.7 _' r1 W4 q2 @: n9 H V' p* j4 w
. H5 H. P }2 U- _4 x) R+ o布局时注意:
) ~( E+ m1 ~/ O7 a6 b" q* Q: O10 更改原理图后一定记得check and save
h$ Y# A0 B% N) }4 o1 Y3 g11 完成每个cell后要归原点1 Z6 a. A% \. m* a8 v# b
12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).
/ o; I2 {. Z) i B0 W& [ q13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。
) B7 P3 M" H$ S3 C14 尽量用最上层金属接出PIN。+ F4 b) ?1 y1 v& z6 H7 p
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.
+ e5 m6 ^% g: j; M16 金属连线不宜过长;; l8 E; C. Y- Q$ T1 `1 T5 b) H: R
17 电容一般最后画,在空档处拼凑。
9 `7 @; T5 Z" u& }) r# s5 {; i& C$ h18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.
0 T5 G0 S1 ~% w19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。% g; `" E; q2 W+ m
20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.1 k0 Q+ C( T5 l+ _; p! |
21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.
/ I1 c U* x1 U' B22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。" } ~8 I2 ~7 `# S
23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.
$ l$ j+ Q* e9 p' G5 T2 {24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.
3 C8 J, e0 Q3 z, v1 Y2 _" F% t" ]25 一般打孔最少打两个/ P& z( N! ]! B: q9 D
26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值./ f" T7 s: }! B+ @' o) l
27 薄氧化层是否有对应的植入层) f' n+ `/ Q4 t1 n! g5 \
28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.
l6 |$ h. i, ~8 @0 {0 v5 v! y5 ~29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度
& t5 m; ]" U8 s" G) M5 F1 Z30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。
# Q, V- a8 _6 o9 `. M0 G31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。
$ W& O. Y# f, ~8 d/ Y) ]. {32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.# Y; A/ S. K4 l" v0 b$ s. G3 Q l
33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。; ]& l% x1 y& l. L0 x
34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.
9 m7 g4 N) |& q( o$ I9 D& \35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层9 E5 {( `8 B/ B
36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.
3 n7 U+ Q9 o- I) [$ q v) L% c8 {37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。
% M# }3 m2 W' \) [38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。1 C# F a g# d2 k5 }$ n; v
39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。
* j2 J- J; @, H6 u# q9 W- @! |40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.
) {- ~+ ~! J7 K) H41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。6 I6 J4 a( R, ]: l9 s4 {
42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.$ V" x' k: X' F- K. {% E6 F
43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.
! [! ~+ V0 E3 e" C* _& j6 U44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.9 J2 V% ~& Z3 f
45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
+ e ^7 T% B5 ]; C& }. `$ r46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。 D8 p9 b$ j, L% `# ^
1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置) @5 Q% l1 K5 G( F/ ^
21% {1 L% F" Q' G- J
中心匹配最佳。# b [" l6 h2 p; z( n% J' ^5 W
47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
* b# u; T% W. x( [48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.$ [8 c/ I/ T, |# F
49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。3 h0 W1 l) Z, U! V/ w/ P# q& t/ r
50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.3 n4 P' f$ T- e* [' b
51 05工艺中resistor层只是做检查用
* k: @6 \; Q2 B5 U52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.+ l. }" Y; M! N$ u7 ~7 [9 ~
53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.
( R6 z- }2 j- v' X# y+ b54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。
r1 | j: P* o( q) ]' {1 O. M55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.0 A5 `) E, q/ J' o9 [
56 关于powermos, m- z. ]5 J) Y5 N8 B
① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,( i g# R7 Q$ {1 K0 A$ \) Q, b
② 几种缩小面积的画法。3 ?# g; f% b5 v
③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um+ r8 I/ y; _5 j \; o; G
57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).6 d+ x$ B' w: a- C9 p
58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向& n/ B! F7 {' A, w* a& r
59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
2 o8 X" D# w g( |1 ^) O60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。 V: U+ t, A( R4 M& n) A! [
61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.. a C* j5 |* L; \) {9 s6 d6 T/ [
62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.5 z- Z. [3 A2 k# j7 N0 b# @, z
63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快./ M$ I# P0 t; U( F7 V
64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
3 \) h! U- }7 b0 J0 ?65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.
! K9 H1 M7 o: {2 j: S; e+ c% U$ x7 G66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.! }6 B3 ?- E& R, p6 F, t
67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联& G! t: P9 k# q4 q; t# w7 @
68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.: J3 P7 F8 e* i$ N0 O" o* M
5 Q4 m3 s# ^2 O/ m2 ^% x; `
出错检查:1 g8 B# @8 Q" O' R" O, ?; c/ A6 t2 k8 T
69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;
% [# z: x' F- m$ N2 m2 f70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX1 f: }+ n" c/ ~9 a+ o+ ^
71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。
! T l6 `& \7 ?* t. e6 ^# ~72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。$ A$ c0 U* `( q5 `6 q. ]
73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起
/ {- a8 H L0 i( o; ~5 v74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端
- ~4 L) v" |8 }75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.
% U# F% G C) {. e. x76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE. " I3 i& m" S: k8 A
77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.
; X, [: G! T. E78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy
6 O* M8 i: Y1 `' ^! r* Z; v79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线., @3 J0 t J1 M7 y2 V7 G& x& E. H
80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
5 g! ^7 ]# j' b R6 A81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.2 L3 g9 g! N7 A5 [, z9 Q7 d
82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.* F$ q6 Z; @0 F/ k
83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.
2 _! j9 E) Z+ C8 x7 y
8 q+ ]. s' M: |. s2 p' y+ p容易犯的错误5 m, s" e: y9 f4 ~: q4 Z! z- J8 P
84 电阻忘记加dummy
. @3 \. i8 B# h+ e9 F9 @- V |85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.3 `- p4 v: Z- F
86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.
4 n, h- |! E7 f* M+ I87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.# K; v2 j; k+ g% M
88 是否按下capslock键后没有还原就操作; ]& ~' p$ s2 v+ I9 y3 K0 A
[( ?8 p3 W& d6 p. \7 j& X7 D# S节省面积的途径0 J* V# |; E2 ^" e9 c( M
89 电源线下面可以画有器件.节省面积.
# Q/ O4 n8 g; T5 x$ n- v90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。; ^+ h4 D% e2 G5 k8 [0 H8 G: \
91 电阻的长度画越长越省面积。. t$ Q" V% w; J7 [/ k3 O
92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.) f. k5 V( R6 [8 Y
93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。
: M# w/ t5 F6 w Q2 L9 L94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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